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◆技术参数：ZDF―Ⅱ型系列热偶/电离复合真空计是基于低真空测量热偶单元(ZJ-51热偶规)与高真空测量电离单元(ZJ-2电离规)技术组合，以完成4×101~1×10-5Pa的测量与控制
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◆概述：ZDF―Ⅲ型系列电阻/电离复合真空计是基于低真空测量电阻单元(ZJ-52T电阻规)与高真空测量电离单元(ZJ-10电离规)技术组合，以完成1×105~1×10-4Pa连续测量与控制
