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溅射离子泵(SP)可获得清洁无油超高真空，它具有许多独特的优点，已得到广泛的应用。特点：没有工作液，不污染系统；无震动、无噪声；工作压强范围宽(1x10负4-1x10负11托)；寿命长，在1x10负7托工作寿命可达30年；不用真空计可知真空
