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nXDS20i是下一代无油的干式涡旋泵，可在应用中取代同等尺寸的干泵和中等尺寸的油封泵。nXDS提高了传统XDS泵的性能，抽速更高，极限压力更低，功耗更低，噪声更小。气镇允许泵送冷凝性蒸汽，包括水、溶剂、稀酸和碱。nXDS还采用
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在需要无油泵时，滚轴泵可替代旋片泵。XDS泵的抽速为5、10和35m3/hr，是采用了新式的轴承护罩，将真空环境与润滑剂隔离开，使之不仅干燥，而且保护轴承免受任何制程气体的影响。蒸汽处理通过可调气囊实现；这使该系列的泵能够应用于
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在需要无油泵时，滚轴泵可替代旋片泵。XDS泵的抽速为5、10和35m3/hr，是采用了新式的轴承护罩，将真空环境与润滑剂隔离开，使之不仅干燥，而且保护轴承免受任何制程气体的影响。蒸汽处理通过可调气囊实现；这使该系列的泵能够应用于
