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溅射离子泵(SP)可获得清洁无油超高真空,它具有许多独特的优点,已得到广泛的应用。特点:没有工作液,不污染系统;无震动、无噪声;工作压强范围宽(1x10负4-1x10负11托);寿命长,在1x10负7托工作寿命可达30年;不用真空计可知真空