FFl60/620C型复合分子泵是一种机械式真空泵,是由涡轮抽气级和盘形牵引压缩级
组合而进行抽气的,它同时具有涡轮抽气大抽速的特点,又具有牵引泵高压缩比的特点,
在高压强—卜具有较大的抽速(7Pa时,抽速达130L/s)。对被抽气体无选择性、无记忆效应、
操作简单、使用方便。由于对分子量大的气体具有很高的压缩比,因此在运车专过程中,
高真空区域不会受到油蒸汽的亏染,该泵不需要冷阱和油挡板,即可获得清洁的高真空
和超高真空环境。它广泛应用于表面分析、加速器技术、等离子体技术、电真空器件的
制造及真空技术的各个领域。