BPG400

所属分类：德国英福康
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发布日期：2020-10-14 11:22:28

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产品概述

INFICON B-A型皮拉尼复合真空计BPG400，将两种真空计集成在一个小型的单元内，测量范围从5x10负10毫巴至大气压(3．8x10负lO乇至大气压)，复合的技术降低了安装，设置和集成的复杂性，选择在一个经济型规管内的BPG400用于普及和可再现的过程中的基本压强测量。

优点
--极宽的测量范围从5x10负10毫巴至大气压(3．8x10负10乇至大气压)
--极好的重复性，过程压强范围10负8——10负2毫巴均为5％
--皮拉尼连锁保护B—A型系统，防止灯丝过早烧毁和高压强运行产生的污染
--敷涂铱的氧化钇长寿命灯丝
--可选图形显示和Feldbus接口
--自动高真空皮拉尼调整，减少操作人员的干预

用途
--半导体工艺过程和传输室中的压强测量
--工业镀膜
--从低至超高真空范围的一般真空测量和控制